隨氣體流量上升,異味氣體處理效率呈下降趨勢。當煙氣流量400m3 Πh時,其處理效 率比煙氣流量300m3 Πh時降低了約16%。由于煙氣中有機物濃度無法改變,所以流量的增大就意味著流速的增大,而設備功率一定時,流速的大小反映了氣流在等離子體設備中停留時間的長短。流速越大,氣流在等離子體設備中停留的時間越短,VOCs分子隨氣流在反應器中停留時間也就越短,與自由電子的碰撞幾率減少,因此VOCs分子離解、電離的幾率相應減少,處理效率下降。

    低溫等離子體技術則較好，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。

    等離子體化學反應過程。低溫等離子體技術處理污染物的原理過程為在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

    廢氣凈化器具有節能：低溫等離子體處理煙氣能耗低，工藝簡潔：低溫等離子體設備,操作簡單,方便.無需專人看管，設備使用壽命長：設備由不銹鋼材，石英、鉬等材料組成等特點。