機廢氣處理變壓吸附分離與凈化的技術( PSA)是利用氣體組分在固體吸附材料上吸附特性的差異 ,通過周期性的壓力變化過程實現氣體的分離與凈化。PSA技術是一種物理吸附法，一般采用沸石分子篩作為吸附劑 (吸附容量大、 吸附選擇性強 )。在常溫及一定壓力條件下 ,可把有機廢氣中吸附在沸石分子篩上,沒有被吸附的氣體進入下一個工段。吸附有機廢氣以后的吸附劑通過降壓抽真空把有機物解吸 ,使吸附劑再生。再生后的吸附劑重新去吸附廢氣中的有機物 ,以此循環往復。PSA技術是近幾十年來在工業上新崛起的氣體分離技術 ,具有能耗低、 投資少、 流程簡單、 自動化程度高、 產品純度高、 無環境污染等優點 ,是各種氣體分離與回收的較理想的方法 ,極富有市場競爭力。
　　臭氧分解法：
　　【廢氣處理】臭氧分解法國內未見報導 ,國外對此技術的研究也還極少。有研究表明 O3可用于凈化地面廢氣 ,即能分解土壤中非揮發性有機物多環芳香有機物、 脂肪族有機物、 酚和殺蟲劑 ,此時用地面氣作 O3載體。另外 , 研究人員還特別注意了 O3 處理后土壤的微生物狀態變化 ,結果顯示細菌減少 99% ,呼吸性能降低。為此,研究人員通過用純 O2 和未反應的 O3 的分解控制技術 ,減少 O3 處理對土壤的生態系統的影響 ,從而達到安全的目的。
　　電化學氧化法：
　　電化學氧化技術是采用一種內裝膜和 AgNO3 - HNO3溶液的化學電池 ,在溫度為 50～100℃和常壓的條件下進行氧化 ,在陽極 , VOCs惡臭氣體轉化為 CO2和 H2O;在陰極 ,生成亞硝酸 ,經處理后可循環使用。該法的典型特點: VOCs惡臭物質去除率高,可達 99%以上 ,但運轉費用亦高較高。